Laserkalorimeter

In den vergangenen Jahren haben Anwendungen mit Excimerlasern als Strahlquelle im DUV(193nm)/VUV(157nm)-Bereich für zukunftsorientierte Technologiebereiche wie Halbleiterlithographie, Medizin und Materialbearbeitung  mehr und mehr an Bedeutung gewonnen. Daher werden an die verwendeten optischen Komponenten bezüglich Laserdauerbelastbarkeit, Energiedichte und Langzeitstabilität gänzlich andere Anforderungen gestellt.

Die Verwendung fluoridischer als auch oxidischer Komponenten für Laserstrahlung im DUV/VUV-Bereich ist stark von den optischen Eigenschaften abhängig, welche wiederum durch Verlustmechanismen charakterisiert werden und so die Qualität und Lebensdauer merklich bestimmen. Mit dem Verfahren der Laserkalorimetrie ist eine verlässliche und aussagekräftige Bestimmung der Absorption sowohl für Substrate als auch für Beschichtungen möglich. In diesem Zusammenhang können Aussagen über die Qualität der verwendeten Komponenten getroffen werden. Dadurch ist eine Kostenreduzierung im Servicebereich sowie eine effektivere Wartungsplanung möglich. 

Unser Angebot 

• Bestimmung der Absorption für Substrate und Schichten für die Laserstrahlung mit der Wellenlänge 193 nm
• Qualitätsprüfung von Chargen und Einzelkomponenten
• kundenspezifische Entwicklung und Aufbau eines Absorptionsmessplatzes

Vorteile des Verfahrens 

• normiertes und standardisiertes Messverfahren nach EN ISO 11551 
• absolute Kalibrierbarkeit des Messgerätes
• hohe Reproduzierbarkeit der Messergebnisse·
• zerstörungsfrei arbeitende Messmethode 

Besonderheiten und Optionen 

• Messungen  an 0° und 45°-Komponenten
• System ist auf andere Wellenlängen adaptierbar
• vakuumgerechte Auslegung des Messaufbaus
• Messung unter Stickstoffatmosphäre