Durch elektrostatische Aufladung von TEM - Proben kann durch selektive Bedampfung mit einem leitfähigen Film (Kohlenstoff) vermieden werden. Mittels des patentierten CEMM - CoatMasters werden elektronentransparente Bereiche des Präparates von der Bedampfung ausgenommen. Kontamination bei analytischer TEM, Beeinträchtigung der HRTEM-Abbildung durch amorphe C-Schichten sowie die Wechselwirkung mit Kohlenstoff bei in situ-Experimenten werden effektiv unterdrückt. Verschiedene Maskenlayouts ermöglichen eine Anpassung an die gegebene Lochgeometrie.

Nach dem Einlegen der Standard-TEM-Probe in die zentrale Aussparung des CEMM - CoatMaster-Unterteils wird eine geeignete Maske (Standardformen sind unten angezeigt) im Oberteil montiert. Mit einem Stereomikroskop (Beobachtung im reflektierten und durchgehenden Licht möglich) wird die Maske relativ zur Probe orientiert, dass die elektronentransparenten Bereiche abgeschattet werden. Beim Transfer in die Beschichtungsapparatur werden Ober- und Unterteil durch drei Magneten in ihrer relativen Lage fixiert.

Aluminiumoxid ist stark isolierend und erfordert eine Bedampfung mit einem dünnen Kohlenstoff-Film vor der TEM-Inspektion. Es werden weder während EDXS-Analysen (400 keV Beschleunigungsspannung, 5nm Strahldurchmesser, 5 min), noch bei HRTEM-Abbildung Anzeichen von Kontamination festgestellt.