DPSS Laser Station

Hohe Standzeiten, Zuverlässigkeit, einfache Handhabbarkeit und Qualität sind nur einige Kriterien, die bei der Auswahl einer einzelnen Anlage oder einer kompletten Produktionskette eine Rolle spielen. Deshalb sind Diode-Pumped-Solid-State Lasersysteme für den harten Industrieeinsatz bestens gerüstet. Diese seit vielen Jahren erprobten, robusten Strahlquellen werden in Systemen der 3D-Micromac AG zu vielseitigen Werkzeugen, die Metalle, Halbleiter, Keramiken und Kunststoffe präzise und schnell bearbeiten. Und das mit einem sehr attraktiven Preis-Leistungs-Verhältnis.

Die Steuerung der Arbeitsstation erfolgt über einen Industrie-PC und die dazugehörige Steuerungssoftware microMMI, eine multilinguale Software, die unter anderem individuelle Bedienermodi (Operator, Service, Supervisor), die weltweite Fernsteuerbarkeit des Systems via TCP/IP und die Überwachung aller Prozessparameter bietet.
Zudem verfügt die microMMI über ein einfach zu bedienendes Grafikinterface mit Preview-Möglichkeit. Die Programmierung mittels Visual Basic Script oder G-Code (DIN 66025), Schnittstellen zu GDSII, STL und DXF, die Steuerung von bis zu 32 NC-Achsen sowie ein integriertes Bilderkennungssystem gehören zu den weiteren Vorteilen der microMMI.

Laserquelle
  • DPSS Laser
  • Wellenlängen 1064 nm, 532 nm (SHG), 355 nm (THG), 266 nm (FHG)
  • Repetitionsrate 1 Hz bis 300 kHz
  • Strahlprofil TEM00
  • Energie 100 μJ bis 15 mJ
  • Mittlere Leistung 0,5 bis 20 W
  • Pulsweite 10 bis 500 ns
Systembeschreibung (Beispielkonfiguration)
  • Verfahrweg (XY) 200 mm x 200 mm
  • Positioniergenauigkeit ± 1 μm
  • Wiederholgenauigkeit ± 0,5 μm
  • Maximale Geschwindigkeit 2 m/s
  • Nicken/Gieren ± 8 arcsec
  • Z-Achse 100 mm
  • Mechanische Ausrichtung
  • Scanner mit verschiedenen Arbeitsfeldern und Auflösungen
Optionen
  • Halb- oder vollautomatisches Ausrichten des Werkstücks mittels Kamerasystem
  • Automatisiertes Materialhandling
  • Vakuum-Chuck
  • Waferaufnahme für Wafer bis 300 mm Durchmesser
  • Spezielle Aufnahmen für Masken
  • Kundenspezifische Materialhalterungen
  • Vollklimatisierter Bearbeitungsraum
  • Mini-Environment bis ISO-Klasse 4
  • Strahlanalyse mit microPROFILER-Software
Gehäuse/Gestell
  • stabiles Gestell aus Edelstahl
  • Umhausung für Laserklasse 1

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