Excimer Laser Station

Großflächige Bearbeitung von Materialien bei hoher Produktivität ist bei vielen alternativen Bearbeitungsverfahren eine Selbstverständlichkeit. Mit den wirtschaftlichen Excimer-Lasersystemen der 3D-Micromac AG ist diese effektive Arbeitsweise auch im Laserbereich verfügbar. Durch die Technik der Maskenprojektion ist es möglich, komplexe Strukturen als Ganzes, ähnlich einem Dia, verkleinert auf dem Material abzubilden. Durch die Wellenlänge im ultravioletten Bereich kann man Strukturgrößen im sub-μm-Bereich erzeugen. Egal, ob man Kunststoffe, Keramik, Gläser, Stoffmischungen oder biologische Materialien bearbeiten will.
Die Steuerung der Arbeitsstation erfolgt über einen Industrie-PC und die dazugehörige Steuerungssoftware microMMI, eine multilinguale Software, die unter anderem individuelle Bedienermodi (Operator, Service, Supervisor), die weltweite Fernsteuerbarkeit des Systems via TCP/IP und die Überwachung aller Prozessparameter bietet. Zudem verfügt die microMMI über ein einfaches zu bedienendes Grafikinterface mit Preview-Möglichkeit. Die Programmierung mittels Visual Basic Script oder G-Code (DIN 66025), Schnittstellen zu GDSII, STL und DXF, die Steuerung von bis zu 32 NC-Achsen, ein integrierter Energiemonitor sowie ein integriertes Bilderkennungssystem gehören zu den weiteren Vorteilen der microMMI.

Laserquelle
  • Excimer Laser
  • Wellenlängen 193 nm (ArF), 248 nm(KrF), 308 nm (XeCl)
  • Repetitionsrate 10 Hz - 4 kHz
  • Energie 1 mJ - 1200 mJ
  • Mittlere Leistung 0,2 W – 310 W
  • Pulsweite 10 ns – 35 ns
Systembeschreibung (Beispielkonfiguration)
  • Verfahrweg (XY) 200mm x 200 mm
  • Positioniergenauigkeit ± 1 μm
  • Wiederholgenauigkeit ± 0,5 μm
  • Maximale Geschwindigkeit 2 m/s
  • Nicken/Gieren ± 8 arc sec
  • Z-Achse 150 mm
  • Vakuum-Chuck
  • Mechanische Ausrichtung
  • Strahlengang spülbar
  • Beobachtung des Arbeitsfeldes mit CCD-Kamera
Optionen
  • Scanner mit verschiedenen Arbeitsfeldern und Auflösungen
  • Halb- oder vollautomatische Ausrichtung des zu bearbeitenden Werkstücks mit Kamerasystem
  • Automatisiertes Materialhandling
  • Kundenspezifische Materialhalterungen
  • Vollklimatisierter Bearbeitungsraum
  • Mini-Environment bis ISO-Klasse 4
  • Strahlanalyse mit microPROFILER-Software
Gehäuse/Gestell
  • Stabiles Gestell aus Edelstahl mit Granitaufbau
  • Umhausung für Laserklasse 1

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