Wenn feinste Strukturen mit höchster Präzision erzeugt werden sollen, sind die Anforderungen an das Lasersystem genauso hoch wie die Ansprüche der Nutzer. Mit F₂-Lasersystemen der 3D-Micromac AG werden diese Anforderungen Realität.

Der integrierte Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 157 nm (Fluor-Laser) ermöglicht eine nahezu thermisch stressfreie  Strukturierung des Materials im sub-µm-Bereich. Besonderes Highlight dieses Systems ist zudem die hervorragende Eignung für optische transparente Materialien.

Die Steuerung der Fluor-Arbeitsstation erfolgt über einen Industrie-PC und die dazugehörige Steuerungssoftware microMMI, eine multilinguale Software, die unter anderem individuelle Bedienermodi (Operator, Service, Supervisor), die weltweite Fernsteuerbarkeit des Systems via TCP/IP und die Überwachung aller Prozessparameter bietet. Zudem verfügt die microMMI über ein einfaches zu bedienendes Grafikinterface mit Preview-Möglichkeit. Die Programmierung mittels Visual Basic Script oder G-Code (DIN 66025), Schnittstellen zu GDSII, STL und DXF, die Steuerung von bis zu 32 NC-Achsen sowie ein integriertes Bilderkennungssystem gehören zu den weiteren Vorteilen der microMMI.