Die im High End-Bereich gestellten Anforderungen an Qualität und Präzision sind der Maßstab, an dem sich die Systeme zur Herstellung mikromechanischer Produkte messen müssen. Die dabei zum Einsatz kommenden Materialien und die gestellten Anforderungen, wie z.B. Strukturierungen im sub-µm-Bereich und thermisch stressfreie Bearbeitung, benötigen eine spezielle Laserquelle. Femtosekundenlaser in Bearbeitungssystemen der 3D-Micromac AG bieten durch ihre thermischen Eigenschaften die ideale Lösung bei komplexen Aufgabenstellungen. Einige der besonderen Merkmale der Lasers sind dabei der minimal erreichbare Bohrungsdurchmesser von einigen 100nm, keine "Heat Affected Zone", debris- und rissfreie Bearbeitung, keine Delamination von Schichtsystemen und die Möglichkeit, praktisch jedes Material bearbeiten zu können.

Die Steuerung der Workstation erfolgt über einen Industrie-PC und die dazugehörige Steuerungssoftware microMMI, eine multilinguale Software, die unter anderem individuelle Bedienermodi (Operator, Service, Supervisor), die weltweite Fernsteuerbarkeit des Systems via TCP/IP und die Überwachung aller Prozessparameter bietet. Zudem verfügt die microMMI über ein einfaches zu bedienendes Grafikinterface mit Preview-Möglichkeit. Die Programmierung mittels Visual Basic Script oder G-Code (DIN 66025), Schnittstellen zu GDSII, STL und DXF, die Steuerung von bis zu 32 NC-Achsen sowie ein integriertes Bilderkennungssystem gehören zu den weiteren Vorteilen der microMMI.