microDrill EWT
Angesichts zunehmenden Umweltbewusstseins und knapper werdender fossiler Brennstoffe spielt die Photovoltaik bei der Energiegewinnung eine immer größere Rolle. Um eine Reduzierung der Herstellungskosten und gleichzeitig eine Steigerung des Wirkungsgrades zu erzielen, wird beispielsweise das Zelldesign von Solarzellen ständig weiterentwickelt und verbessert. Ein Ansatz dazu ist das sogenannte Back-Contact Cell Design. Hierbei wird die Effizienz von Solarzellen durch Verlegen der Front-Kontakte, die sonst beträchtliche Bereiche der aktiven Flächen der Solarzelle abdecken, erhöht. Das Ziel ist dabei, soviel Kontaktfläche wie möglich auf die Rückseite der Solarzelle zu verlagern. Hierzu werden Löcher verschiedener Größen mittels Laser gebohrt. Mit Hilfe des EWT- (emitter wrap-through) Konzeptes werden die elektrischen Kontakte von der Vorderseite auf die Rückseite der Zelle transferiert.
Eines der Hindernisse für die industrielle Nutzung der EWT-Technologie waren bisher die relativ geringen Durchsätze bei hohen Investkosten. Dem Rechnung tragend hat die 3D-Micromac AG die bewährten microDRILL-EWTTM Systeme weiterentwickelt und bietet ab sofort ein verbessertes Laser- und Optikkonzept in ihren Anlagen an. Durch den Einsatz eines Festkörperlasers werden mittels Percussions-Bohren bis zu 15.000 Löcher pro Sekunde in der Zelle generiert. Der Lochdurchmesser liegt dabei im Bereich von
30 - 80 µm. Dabei werden die Bohrungen rissfrei, mit geringer Wärmebeeinflussung und nahezu ohne Schmelzaufwurf hergestellt. Die Taktrate dieses dedizierten Systems liegt bei nur 2,5 Sekunden pro Zelle.
Die langjährige Erfahrung der 3D-Micromac im Bereich der Lasermikrobearbeitung ermöglichte die Entwicklung dieser hocheffizienten und stabilen Maschinenkonzepte, die sich sowohl durch vergleichsweise niedrigere Investitionskosten als auch deutlich günstigere Total Costs of Ownership auszeichnen.
Eines der Hindernisse für die industrielle Nutzung der EWT-Technologie waren bisher die relativ geringen Durchsätze bei hohen Investkosten. Dem Rechnung tragend hat die 3D-Micromac AG die bewährten microDRILL-EWTTM Systeme weiterentwickelt und bietet ab sofort ein verbessertes Laser- und Optikkonzept in ihren Anlagen an. Durch den Einsatz eines Festkörperlasers werden mittels Percussions-Bohren bis zu 15.000 Löcher pro Sekunde in der Zelle generiert. Der Lochdurchmesser liegt dabei im Bereich von
30 - 80 µm. Dabei werden die Bohrungen rissfrei, mit geringer Wärmebeeinflussung und nahezu ohne Schmelzaufwurf hergestellt. Die Taktrate dieses dedizierten Systems liegt bei nur 2,5 Sekunden pro Zelle.
Die langjährige Erfahrung der 3D-Micromac im Bereich der Lasermikrobearbeitung ermöglichte die Entwicklung dieser hocheffizienten und stabilen Maschinenkonzepte, die sich sowohl durch vergleichsweise niedrigere Investitionskosten als auch deutlich günstigere Total Costs of Ownership auszeichnen.
Systembeschreibung (Beispielkonfiguration):
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24/7 Produktion
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Hoher Durchsatz à Handling und Automatisierung bis 3600 Wafer/h möglich
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Mögliche Wafergrößen:
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100 mm x 100 mm
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125 mm x 125 mm
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156 mm x 156 mm
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210 mm x 210 mm
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Mögliche Waferdicke: 120 μm – 300 μm
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Prozessgeschwindigkeit bis 15.000 Löcher/Sek.
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Lochdurchmesser: 30-80 μm
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Integrierte Prozesskontrolle
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Leistungsmessung und -regelung im Strahlengang und direkt am Werkstück möglich
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Bilderkennungssystem zur Lageerkennung des Werkstückes
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2- und 4-Punkt- Bilderkennung
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Bauteilspezifische Bilderkennung
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Vollautomatische Ausrichtung des Werkstücks
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Durchführung von Messaufgaben
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Explosionsgeschützte Absaugung
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Frei programmierbare CNC Steuerung
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Steuersoftware microMMITM
- Integration in Fertigungsstrecken möglich

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