microSTRUCT varioTM

Durch die fortschreitende Miniaturisierung in der Elektronik, Halbleiterfertigung und Medizintechnik ist es unabdingbar geworden, immer kleinere und feinere Strukturen in unterschiedlichste Substrate einbringen zu können. Die zu bearbeitenden Materialien können dabei u.a. Metalle, Legierungen, Keramiken, transparente Substrate oder biologische Substanzen sein. Die microSTRUCT varioTM ist bestens für die Bearbeitung dieser Materialien geeignet.

Laserquelle (wählbar, Beispielkonfigation)

  • Einsatz von zwei Laserquellen und drei Strahlengängen möglich
  • Laserquelle, Laserwellenlänge, Laseroptiken, Scanner und Festoptiken wählbar
  • Standard-Laserquelle: ps Laser 1064 nm mit SHG und THG
  • Weitere verfügbaren ps-Laser und Lasertypen (ns, fs, Faser-/ Scheibenlaser) integrierbar

Systembeschreibung (Beispielkonfiguration)

  • Direkt angetriebenes Positioniersystem
  • XY-Verfahrweg 1150 mm x 450 mm
  • Positioniergenauigkeit ± 0,002 mm
  • Wiederholgenauigkeit ± 0,001 mm
  • Verfahrgeschwindigkeit max. 500 mm/s
  • Beschleunigung max. 400 mm/s²
  • Positioniersystem erweiterbar um Goniometerachsen oder Hubtische
  • Möglichkeit zur Integration anderer Positioniersysteme auf Kundenwunsch
  • Werkstückpositionierung erfolgt manuell, halb- oder vollautomatisch mit einem X-Y-Tisch sowie dem optischen Messsystem
  • Anpassung an unterschiedliche Werkstückhöhen mit separatem Z-Positioniersystem
  • 3 Bearbeitungsstationen zum Einsatz von Scanner- systemen, Festoptiken oder einer Wendelbohroptik
  • 450 mm x 450 mm Bearbeitungsfeld je Station
  • Auf Wunsch eine Station als Messplatz (Kameras, taktile oder optische Abstandsmessung, Oberflächen- messung) nutzbar
  • Vorbereitung für Integration einer Absauganlage zur Beseitigung von abgetragenen Materialpartikeln
  • Multilinguale Steuerungssoftware mit intuitiver grafischer Nutzeroberfläche
  • Individuelle Bedienermodi (Operator-, Service- und Engineering-Modus)
  • Schnittstellen zu GDSII, CLI und DXF
  • Überwachung und Loggen aller Prozessparameter möglich
  • Auf Wunsch weltweite Fernwartung des Systems via TCP/IP für Servicezwecke möglich
  • Nutzbar für Systeme mit bis zu 32 NC Achsen

Optionen

  • Vollautomatisiertes Materialhandling
  • Integriertes Bilderkennungssystem mit bis zu vier Beobachtungskameras
  • Optischer oder taktiler Abstandssensor
  • Vakuumspannvorrichtung oder andere Spannvorrichtungen auf Anfrage
  • Qualitätskontrollsysteme auf Anfrage

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