Organische Leuchtdioden (OLED) sind leuchtende Bauelemente mit einer Gesamtdicke von wenigen Millimetern, die aus verschiedenen organischen, halbleitenden Dünnfilmschichten aufgebaut sind. Kennzeichnend sind eine hohe Bildqualität bei einem besonders großen Betrachtungswinkel sowie der geringe Energieverbrauch. Aus diesem Grund werden OLEDs derzeit vorrangig in kleinen, tragbaren Geräten wie zum Beispiel in Displays und Bildschirmen von Mobiltelefonen  eingesetzt.

Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer OLED müssen die verschiedenen Dünnschichten strukturiert werden. Bisher wurden dafür mechanische und/oder nasschemische Verfahren eingesetzt. Eine neuartige innovative Lösung zur Strukturierung dieser dünnen Schichten bieten selektive Laserstrukturierverfahren.

Die 3D-Micromac AG hat für diese Laser-Strukturierungsprozesse ein Fertigungskonzept entwickelt und erfolgreich am Markt positioniert. Basierend auf den microSTRUCT Laseranlagen wurde ein System entwickelt, dessen Hauptanwendung die selektive Strukturierung der Anoden-Schicht ist. Zumeist wird das nahezu transparente halbleitende Indiumzinnoxid (ITO) als Anodenmaterial verwendet. Der Einsatz von Ultrakurzpulslasern in der microSTRUCT garantiert dabei die schonende Strukturierung der Anode ohne dabei das Glassubstrat zu beschädigen. Besonderes Highlight ist die Bearbeitung von beliebig großen Substratgrößen, welche durch ein neuartiges Software gesteuertes Scannerbearbeitungskonzept realisiert wird. Somit werden Strukturiergeschwindigkeiten von 1m/s erreicht.

Neben der Anodenschicht können auch alle weiteren Schichten der OLED bearbeitet werden. Weitere Anwendungsmöglichkeiten des Lasersystems liegen in der Beseitigung von Kurzschlüssen und anderen Defekten im Schichtsystem der OLED durch Isolation der entsprechenden Gebiete. Eine bislang defekte OLED wird durch Ausheilen dieser Kurzschlüsse wieder zum Leuchten gebracht.  Schließlich kann die Anlage auch zum Markieren der Glassubstrate genutzt werden. Dabei sind sowohl eine Markierung an der Glasoberfläche sowie eine Innenbeschriftung möglich. Durch die nahezu athermische Laserbearbeitung lässt sich eine Gravur des Glases erzeugen, ohne (Mikro-) risse im Substrat zu generieren.  Abgerundet wird das High-End-Lasersystem durch ein automatisches Handlingssystem zum zuverlässigen Transport der OLED-Glassubstrate innerhalb der Fertigungsschritte sowie ein Mikroskopsystem zur Inspektion der bearbeiteten Substrate – ebenfalls mit automatischem Handling.

Die 3D-Micromac AG ist führender Anbieter maßgeschneiderter Lasermikrobearbeitungssysteme am internationalen Markt. Unsere Anlagen werden sowohl für den industriellen Einsatz als auch für Forschungszwecke entwickelt und produziert. Zur Anwendung kommen diese Systeme beispielsweise in Anlagen für die Produktion von Photovoltaik-Bauelementen, in der Halbleiterfertigung oder der Medizintechnik.  

Als Entwickler und Hersteller komplexer Anlagen stehen wir unseren Kunden und Partnern als kompetenter Ansprechpartner für alle Aufgaben in der Lasermikrobearbeitung zur Verfügung. Weitere Informationen zur Firma und zu unseren Produkten finden Sie unter: http://www.3d-micromac.com/