Pikosekunden Laser Station

Bei Laserbearbeitungssystemen im industriellen Einsatz kommt es vor allem auf eines an: Performance. Diese Forderung mit dem Wunsch nach immer kleineren Strukturen bei hoher Qualität zu verbinden, gelingt mit den neuen hochrepetierenden Pikosekundenlasern in Anlagen der 3D-Micromac AG. Überall dort, wo es auf präzise Hochgeschwindigkeitsbearbeitungen in Metallen und Halbleitermaterialien ankommt, sind Pikosekundenlaser exzellente Werkzeuge zur Erreichung von optimalen Bearbeitungsergebnissen.

Die Steuerung der Workstation erfolgt über einen Industrie-PC und die dazugehörige Steuerungssoftware microMMI, eine multilinguale Software, die unter anderem individuelle Bedienermodi (Operator, Service, Supervisor), die weltweite Fernsteuerbarkeit des Systems via TCP/IP und die Überwachung aller Prozessparameter bietet.

Zudem verfügt die microMMI über ein einfaches zu bedienendes Grafikinterface mit Preview-Möglichkeit. Die Programmierung mittels Visual Basic Script oder G-Code (DIN 66025), Schnittstellen zu GDSII, STL und DXF, die Steuerung von bis zu 32 NC-Achsen sowie ein integriertes Bilderkennungssystem gehören zu den weiteren Vorteilen der microMMI.

Laserquelle

  • Wellenlängen 1064 nm (optional SHG/THG)
  • Repetitionsrate 15kHz, 50 kHz, 100 kHz, 500 kHz, 50 MHz
  • Strahlprofil TEM00
  • Energie max. 20 µJ
  • Mittlere Leistung 10 W
  • Pulsweite < 15 ps

Gehäuse

  • Stabiles Gestell aus Edelstahl mit Granitaufbau
  • Umhausung für Laserklasse 1

Optionen

  • Scanner mit verschiedenen Arbeitsfeldern und Auflösungen
  • Halb- oder vollautomatische Ausrichtung des Werkstücks mittels Kamerasystem
  • Automatisiertes Materialhandling
  • Vakuum-Chuck
  • Waferaufnahme für Wafer bis 300 mm Durchmesser
  • Spezielle Aufnahmen für Masken
  • Kundenspezifische Materialhalterungen
  • Vollklimatisierter Bearbeitungsraum
  • Mini-Environment bis ISO-Klasse 4
  • Strahlanalyse mit microPROFILER-Software
  • Integrierter Energiemonitor

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